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机译:热壁反应器中甲基三氯硅烷化学气相沉积SiC的模拟
Neuschütz, D.; Schierling, M.; Zimdahl, S.;
机译:热壁反应器中甲基三氯硅烷中SiC化学气相沉积的模拟
机译:在冷壁大气压化学气相沉积反应器中多晶立方SiC薄膜的位置依赖性生长
机译:降阶建模,可对热壁化学气相沉积反应器进行有效的数值优化
机译:用于化学气相沉积的热壁和冷壁反应器的数学建模
机译:在热壁反应器中化学气相沉积碳化硅。
机译:卤化物激光化学气相沉积法在110取向块状3C-SiC中原位掺杂氮
机译:低压热壁化学气相沉积反应器-配有石英缸。垂直于纵轴安装的基质血小板
机译:射频供电的等离子体增强化学气相沉积反应器和实现等离子体增强化学气相沉积的方法
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